一、半導體無塵烤箱設備用途:
   半導體無塵烤箱Class 100百級潔凈無塵烘箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

二、半導體無塵烤箱產品特點：
1、在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100級；
2、內膽四周氬弧焊，耐高溫硅膠密封，SUS304#不銹鋼加熱器，防機臺本身所產生微塵；
3、采平面水平送風后經美國進口H.E.P.A Filter裝置往前 (特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
4、箱內空氣封閉強制自循環(huán)，經耐高溫空氣過濾器反復過濾，使干燥箱工作室內處于無塵狀態(tài)。水平循環(huán)結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，溫度控制精度。
5、配壓差計隨時了解過濾器工作狀態(tài)。

三、半導體無塵烤箱潔凈度100級的潔凈熱處理：
HEPA高效過濾器與前出風型水平層流循環(huán)方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與Class 100級潔凈度小限度控制風速距離。

三、技術參數：